Скачать книгу Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6 бесплатно

Категория Аппаратура | Дата: 20-07-2012, 09:48
  • 0

Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6

Название: Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6
Автор: Минайчев В.Е.
Издательство: Высшая школа
Год: 1989
Страниц: 110
Язык: русский
Формат: djvu
Размер: 3.1 Мб

Рассмотрены вопросы нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.



Просмотры: 785
Новости, похожие на Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6, "Аппаратура":

Поделитесь ссылкой на новость со своими друзьями:
HTML-cсылка:

BB-cсылка:

Прямая ссылка: